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课题组成员受中科院上海微系统所涂敏研究员邀请访问参观并作报告

发布时间：2024-10-25

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涂敏，中科院上海微系统与信息技术研究所2020 X-Lab青年研究员，国家海外高层次人才入选者，主要从事多功能材料的微纳加工（包括极紫外光刻胶设计与开发）与MEMS器件应用。