著作

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出版物 作者 出版日期 出版社
机械精度设计基础 蒋庄德, 苑国英主编, 景蔚萱, 丁建军, 赵立波, 王琛英, 刘涛 参编 2017-08-01 西安交通大学出版社
三维高分辨率共焦显微成像与测量技术理论(十二五国家重点图书,代表作) 谭久彬, 刘涛, 刘俭 2014-08-01 哈尔滨工业大学出版社

科研项目

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项目编号 项目名称 项目来源 起讫时间 承担角色 项目类别
HXDSH20240894 晶圆粗糙度光学干涉检测系统 半导体企业 2024-05~- 负责人 横向项目
2311111220500 精密光栅位移传感部件项目子课题 河南省重点研发专项 2024-01~- 负责人 纵向项目
HXDSH20232058 自动化白光干涉精密测量系统 计量院 2023-10~- 负责人 横向项目
2023YFE0203800 第三代半导体SiC晶片智能检测技术与装置研发 国家重点研发计划重点专项 2023-07~- 负责人 纵向项目
XZD012022068 半导体晶圆缺陷及膜厚光学检测技术研究 中央高校基本科研业务费 2022-01~2023-12 负责人 纵向项目
2021ZDLGY12-06 超振荡平面光学元件设计及应用集成高端显微检测装备 陕西省重点研发计划项目 2021-01~2023-12 负责人 纵向项目
2019-JCJQ-***-00 平面光学元件***评价方法研究 JKW基础加强计划 2019-12~- 负责人 纵向项目
61404140203 超表面微纳光学系统技术(结题优秀) 十三五装备预研领域基金项目 2018-01~2019-12 负责人 纵向项目
2017YFB1104700 复杂微细结构的激光加工与测量技术及装备 科技部国家重点研发计划 2017-07~2021-06 骨干成员 纵向项目
51575440 突破衍射分辨率极限的石墨烯光波导研究 国家自然科学基金面上项目 2016-01~2019-12 骨干成员 纵向项目
2015QNRC001 快速层析成像及高分辨率测量显微仪器研制 中国科协青年人才托举工程项目 2016-01~2018-12 负责人 纵向项目
61505158 超振荡环带片远场亚波长聚焦矢量机理研究 国家自然科学青年基金项目 2016-01~2018-12 负责人 纵向项目
2016T90909 微结构金属膜环带片聚焦机理及应用研究 中国博士后科学基金特等资助项目 2016-01~2017-12 负责人 纵向项目
2014M560767 非扫描并行光学立体层析微纳结构检测理论及技术研究 中国博士后科学基金一等资助项目 2014-09~2016-09 负责人 纵向项目
2011YQ040087 超高分辨率反射式立体层析共焦显微镜研制 科技部重大科学仪器设备开发专项 2011-10~2016-10 骨干成员 纵向项目

文章

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论文标题 作者 发表/完成日期 期刊名称
大视场白光干涉测量系统及性能研究 刘涛,王智彬,胡佳琪,何耀楠,景炜昌, 等 2024-01-17 光子学报
CNN-based method for chromatic confocal microscopy Juanjuan Wu, Ye Yuan, Tao Liu*, Jiaqi Hu, Delong Xiao, Xiang Wei, Hanming Guo, Shuming Yang 2024-01-10 Precision Engineering
Improved design method for suppressing optical focal spots and experimental verification Tao Liu, Jiaqi Hu, Tao He, Qiang Liu, et al. 2023-10-12 Journal of Modern Optics
Laser confocal positioning super-oscillatory optical microscopy Tao Liu, Guoqing Li, Jiaqi Hu, et al 2023-08-20 Optics Communications
A bionic approach for mechanical and electrical decoupling of MEMS capacitive sensor in ultralow force measurement Wendi Gao, Bian Tian, Cunlang Liu, Yingbiao Mi, Chen Jia, Libo Zhao, Tao Liu, et al 2023-07-14 Frontiers of Mechanical Engineering
Experimental verification of the super-resolution focusing optical needle and imaging with a new type Fresnel zone plate Qiang Liu, Tao Liu, Xianqing Zhou, et al 2023-07-11 Optics Communications
Study on the surface generation mechanism during ultra-precision parallel grinding of SiC ceramics Shanshan Chen, Shuming Yang*, Chifai Cheung, Tao Liu, Duanzhi Duan, Laiting Ho, Zhuangde Jiang 2023-04-09 Crystals
Polarization-insensitive plasmon nanofocusing with broadband interference modulation for optical nanoimaging Shaobo Li, Fei Wang, Ze Zhang, ..., Tao Liu, Feng Chen, Shuming Yang* 2023-03-28 Nano Research
All fiber vector magnetometer based on nitrogen-vacancy center Man Zhao, Qijing Lin*, Qingzhi Meng, ..., Tao Liu, Libo Zhao, Zhuangde Jiang 2023-03-01 Nanomaterials
An area-variant type MEMS capacitive sensor based on a novel bionic swallow structure for high sensitive nano-indentation measurement Wendi Gao, Cunlang Liu, Tao Liu, Libo Zhao*,. .., Zhuangde Jiang, Dong Sun 2022-08-01 Measurement
Chromatic confocal measurement method using a phase Fresnel Zone Plate(代表作) Tao Liu*, Jiayi Wang, Qianq Liu, Jiaqi Hu, Zhibin Wang, Chao Wan, Shuming Yang 2022-01-17 Optics Express
光纤式色散共焦三维测量系统及算法比较研究 王佳怡, 刘涛*, 唐晓锋, 胡佳琪, 王兴, 李国卿, 何韬, 杨树明 2021-11-01 光子学报
FPGA-based Detection Module for Chromatic Confocal Measurement Sensor Ye Yuan, Tao Liu*, Li Zhang, Jiaqi Hu, Jiayi Wang, Shuming Yang 2021-08-28 IEEE-2021 International Conference of Optical Imaging and Measurement (ICOIM 2021)
A simple optical fiber-coupled chromatic confocal 3D measurement system (最佳会议论文) Tao Liu, Xiaofeng Tang, Jiayi Wang, Zhibin Wang, Jiaqi Hu, Ye Yuan, Shuming Yang* 2021-08-27 IEEE-2021 International Conference of Optical Imaging and Measurement (ICOIM 2021)
Axial intensity distribution of a micro-Fresnel Zone Plate at arbitrary numerical aperture Qiang Liu, Tao Liu(共同第一作者), Shuming Yang*, Guoqing Li, Shaobo Li, Tao He 2021-04-12 Optics Express
振镜激光扫描测量系统误差分析与补偿 王腾, 杨树明*, 李述胜, 袁野, 胡鹏宇, 刘涛, 贾书海 2020-12-14 光学学报
制造误差对大尺度超振荡平面透镜聚焦性能的影响(封面文章) 何韬, 刘涛*, 刘康, 李国卿, 王佳怡, 田博, 杨树明 2020-08-12 光学学报
激光照明条件对超振荡平面透镜聚焦性能的影响 刘康, 何韬, 刘涛*, 李国卿, 田博, 王佳怡, 杨树明 2020-06-11 物理学报
A new method to produce optical nano-needle Qiang Liu, Tao Liu (共同第一作者), Shuming Yang, Tong Wang 2019-09-01 The International Journal of Advanced Manufacturing Technology
Design of a planar super-oscillatory lens Kang Liu, Tao Liu*, Qiang Liu, Bo Tian 2019-08-17 The 12th International Symposium on Photonics and Optoelectronics

国家发明专利

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专利名称 申请号 专利类型 申请日期
白光干涉仪 202230705105.2 发明 2022.10.25
超振荡环带片共焦成像系统的样品实时定焦装置与方法 ZL202111551560.2 发明 2021.12.17
光谱共焦精密测量仪 202130784293.8 实用新型 2021.11.29
一种提高光谱色散共焦三维测量效率的方法 ZL202110655530.X 发明 2021.06.11
一种不等环宽介质超振荡环带片设计方法 ZL202010020440.9 发明 2020.01.09
一种不等环宽金属膜超振荡环带片设计方法 ZL202010020132.6 发明 2020.01.09
一种菲涅尔波带片光谱共焦测量方法 ZL201810893106.7 发明 2019.06.26
一种金属膜超振荡环带片的设计方法 ZL201910005119.0 发明 2019.01.03
一种光谱共焦线扫描快速测量物体表面台阶的方法 ZL201910005141.5 发明 2019.01.03
一种电介质超振荡环带片的设计方法 ZL201910005120.3 发明 2019.01.03
一种微型共焦显微成像装置 ZL201810893110.3 发明 2018.08.07
一种激光波长精密测量方法 ZL201810387517.9 发明 2018.04.26
一种由轴向分辨率设计大数值孔径菲涅尔波带片的方法 ZL201710022880.6 发明 2017.02.12
一种百纳米尺度超细光针场聚焦设计方法 ZL201610015338.3 发明 2016.12.26
一种均匀光针聚焦微结构及设计方法 ZL201611045612.8 发明 2016.12.18
一种波长扫描共焦微位移测量装置及方法 ZL201611127494.5 发明 2016.04.16
一种多环带形MEMS共焦针孔探测器及测量方法 ZL201510707519.8 发明 2015.12.15
一种超分辨共焦成像显微装置与方法 ZL201510292588.7 发明 2015.06.06
一种振镜式线激光扫描三维形貌测量装置及方法 ZL201510337487.7 发明 2015.03.02