教育与科研获奖：

一、研制的半导体晶圆缺陷检测装置（Semiconductor Wafer Defect Inspection Apparatus)

二、研制的大视场白光干涉仪（Large-scale White Light Interferometer)

三、研制的激光扫描共焦显微镜（Laser Scanning Confocal Microscope）

四、研制的超分辨共焦扫描显微镜（Super-resolution Confocal Scanning Microscope）

五、研制的新型色散共焦形貌/厚度测量仪（Chromatic Confocal Measuring Instrument）