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刘 涛
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文章课题 - 刘 涛
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科研项目
项目名称
第三代半导体SiC晶片智能检测技术与装置研发(2023YFE0203800)
项目来源
国家重点研发计划重点专项
起始时间
2023-07~-
项目经费
万元
项目类别
纵向项目
状态
进行中
项目优势
市场发展前景好 产品或工艺创新性突出 经济效益显著 社会效益显著
技术优势
可行性
简介
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