祝贺课题组获国家重点研发计划项目-“MEMS 超声换能器元件及传感器”课题
发布时间：2022-12-01
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- 2022-12-01
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- 祝贺课题组获国家重点研发计划项目-“MEMS 超声换能器元件及传感器”课题
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本项目围绕医学超声诊疗与工业无损检测设备对 MEMS 超声换能器的迫切需求。建立高性能 MEMS 超声换能器多物理场耦合分析模型，突破大带宽、高收/发灵敏度的换能器集成化设计、批量化制造、驱动与微弱信号检测ASIC电路设计、声学集成封装等技术瓶颈，研制出高性能MEMS超声换能器。解决传统超声换能器体积大、带宽窄、阵列制备困难、难与 IC 集成等共性难题。实现具有自主知识产权的 MEMS 电容式超声换能器设计-加工-封装-应用全链条规模化生产，打破发达国家的高度垄断。
课题组主要承担课题-“MEMS 高性能阵列式超声换能器集成封装与测试技术”研究任务。