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202309224,便携式超声血压传感贴片,企业,2023-9~2024-4,横向项目
20230501,SOI 基高温压力敏感芯片与传感器设计技术,陕西省重点研发计划专项课题,2023-5~2026-5,纵向项目
xtr052023006,柔性可穿戴MEMS超声医疗诊断系统研究,西安交通大学,2023-1~2025-12,其他
2023KJXX－001,柔性 MEMS 超声换能器设计与制备,青年科技新星项目(人才),2023-1~2024-12,纵向项目
52275570,“刚-柔”融合柔性电容式 MEMS 超声换能器耦合机理与制备技术研究,其他,2023-1~2026-12,纵向项目
2022e03020002HZ-ZKT03,高性能 CMUT 多场耦合机理及阵列结构设计与制备,安徽省“揭榜挂帅”项目课题,2022-11~2025-10,纵向项目
2021YFB3201704,声敏感元件和硅麦克风传感器封装及敏感性研究,国家重点研发计划,2021-12~2024-11,纵向项目
2021YFB2012004,高精度硅压阻式高温压力传感器研究,国家重点研发计划课题,2021-11~2024-10,纵向项目
51805423,压电-静电混合驱动新型MEMS超声换能器机理与制备技术研究,其他,2019-1~2021-12,纵向项目
51890884,电静液驱动执行器热流固环境多源感知和智能健康监测,国家自然科学基金重大项目课题,2019-1~2023-12,纵向项目
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