项目名称：

“刚-柔”融合柔性电容式 MEMS 超声换能器耦合机理与制备技术研究

项目状态：

进行中

项目分类：

纵向项目

项目来源：

其他

项目编号：

52275570

立项时间：

2023-01-01

结项日期：

2026-12-01

资助额度(万元)：

54.0

发布时间：

2025-04-30