项目名称：

压电-静电混合驱动新型MEMS超声换能器机理与制备技术研究

项目状态：

进行中

项目分类：

纵向项目

项目来源：

其他

项目编号：

51805423

立项时间：

2019-01-01

结项日期：

2021-12-01

资助额度(万元)：

32.08

发布时间：

2025-04-30