Personal profile
焦斌斌，男，教授，博士生导师，获得国家级人才计划。与企业合作研制出的三轴一体加速度MEMS芯片累计销售超10亿颗，相关工艺专利授权至TSMC；2015年在企业资助下将中科院微电子所先导中心的8英寸CMOS平台拓展成CMOS-MEMS工艺平台；所开发的智能MEMS传感器已批量应用于医疗与工业场景，实现了进口高端替代。
2025-03~今 西安交通大学仪器学院教授
2021-11~2025-02,中国科学院微电子研究所，新技术开发部微系统技术研究室主任
2019-03~2020-06,江西省科学院应用物理所，副所长(挂职)
2018-12~2021-04,江苏物联网研究发展中心，智能传感器工程中心主任(兼职)
2017-04~2025-02,中国科学院微电子研究所，研究员
2010-10~2017-04,中国科学院微电子研究所，副研究员
2008-07~2010-10,中国科学院微电子研究所，助理研究员
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