教授/博士生导师

国家级人才计划

精密微纳制造技术全国重点实验室副主任

焦斌斌，男，1981年6月出生，西安交通大学仪器科学与技术学院教授，博士生导师，获得国家级人才计划。长期从事微系统技术研究，围绕着设计方法、集成工艺以及散热方法等共性关键技术开展了原创性基础及应用研究。构建了芯片内嵌微流散热理论体系，在芯片温度与应力分布测试、微系统集成工艺、制造工艺控制等方面提出了一系列创新方法，所开发的微系统产品已在工业、消费电子等领域批量应用，直接销售产值累计超7亿。与企业合作研制出的三轴一体加速度MEMS芯片累计销售超10亿颗，相关工艺专利授权至TSMC；2015年在企业资助下将中科院微电子所先导中心的8英寸CMOS平台拓展成CMOS-MEMS工艺平台；所开发的智能MEMS传感器已批量应用于医疗与工业场景，实现了进口高端替代。具有基础理论到关键技术再到产品应用的工程实现能力。相关工作先后获得中国电子科技集团有限公司科技进步一等奖（2024年，排名第4）、中国仪器仪表学会科技进步一等奖（2022年，排名1）、中国工程院中国工程前沿杰出青年学者（2021）、山西省科技进步二等奖（2019年、排名5）等奖项。作为负责人承担国家重点研发计划项目、自然基金委国家重大科研仪器研制项目课题、ZF领域基金重点项目、JKW某基金项目、JKW基础加强重大项目课题、JKW基础加强重点项目课题等国家级任务十余项，累计经费超1亿元。近五年以第一或通讯作者发表SCI/EI论文40篇，其中4篇成为ESI年度高被引论文。授权发明专利53项。作为编委参与编撰了本科生教材《电子薄膜可靠性》（“十四五”国家重点出版物出版规划项目）。